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德國Pfeiffer渦輪分子泵Hipace系列✘↟↟✘◕，採用複合軸承設計✘↟↟✘◕，內部主要由陶瓷球軸承✘↟↟✘◕，轉子軸✘↟↟✘◕，安全軸承和磁性軸承組成✘↟↟✘◕，正常執行3-4年建議做一次標準保養✘↟↟✘◕，常見的故障情況如下◕·✘：
1.分子泵真空度正常✘↟↟✘◕，可以達到全速✘↟↟✘◕，但是噪音大◕·✘：分子泵執行超過3年✘↟↟✘◕，可能內部陶瓷球軸承已磨損✘↟↟✘◕，建議送到專業真空泵維修中心進行拆解檢測；如果放任不管✘↟↟✘◕，後續會磨損轉子✘↟↟✘◕，對泵體內部造成更嚴重的損傷
2.油棉汙染◕·✘：油棉變黑✘↟↟✘◕，發黃✘↟↟✘◕，建議3-4年更換分子泵油棉✘↟↟✘◕，Pfeiffer複合軸承分子泵內部陶瓷軸承採用油潤滑方式✘↟↟✘◕，可以給軸承降溫✘↟↟✘◕，.減少軸承滾珠磨損並起到清洗分子泵軸承✘↟↟✘◕，避免汙染物附著在軸承上面✘↟↟✘◕，有效延長分子泵的使用壽命·↟。
3.分子泵無法啟動◕·✘：用手撥動葉片✘↟↟✘◕，葉片無法轉動✘↟↟✘◕，轉子已完全卡死✘↟↟✘◕，需要立即送修我司檢測
4.異物進入分子泵◕·✘：工藝環境粉塵較多或有異物進入分子泵時✘↟↟✘◕，會對高速旋轉的葉片和轉子造成巨大損害✘↟↟✘◕，建議立即停機送修檢測·↟。
5.分子泵無法達到全速✘↟↟✘◕，真空度抽不下去◕·✘：請檢查前級真空是否正常✘↟↟✘◕，如果是分子泵組✘↟↟✘◕，請先開啟氣鎮閥抽一段時間後在觀察下✘↟↟✘◕，無法解決問題建議立即送修檢測
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